SEC SNE-3200M Taramalı Elektron Mikroskobu
SE ve BSE detektörleri ile kapsamlı malzeme analizleri. Yüksek ve düşük vakum sistemi bir arada. İletken olmayan örnekleri metal kaplama yapamadan inceleyebilme. 15nm detay. 60.000x büyütme. EDS opsiyonu ile element analizi.
15nm
Çözünürlük
60.000x
Büyütme
SE / BSE
Çoklu Dedektör
SE (İkincil Elektron)
Genel etkiyi oluşturmak için yüzey morfolojisini gözlemleme tekniğine uygulanan yöntemdir. Örnek yüzey morfolojisi bilgisine dayalı görüntü oluşumunu sağlar. Yüzeyden koparılan elektronun dedektörde oluşturduğu izi gösteren görüntüleme yöntemidir.
BSE (Geri Saçılma Elektonu)
Görüntüleme yapılacak yüzeye gönderilen elektronun incelenecek yüzeye çarpıp geri sekmesine dayalı görüntüleme yöntemidir. Bu yöntem incelenecek örneğin atom numarasına dayalı bir görüntü oluşturur.
Görüntü Sistemi
X,Y,R (3-Eksenli)
Otomatik Ayar
Odak - Kontrast - Parlaklık
Çift Görüntüleme
SE/BSE Çoklu Görüntü
| Elektron Sistemi | Çözünürlük | 15nm (30kV, SE Görüntü) |
| Büyütme | 15nm (30kV, SE Görüntü) , 20nm (30kV, BSE Görüntü) | |
| Hızlandırıcı Gerilimi | 1~30kV (1/5/10/15/20/30) | |
| Detektör | Secondary Electron Image(SE) , Backscattered Electron Image(BSE) | |
| Elektron Tabancası | Ön-merkezlemeli Tungsten Filament Kartuş | |
| Sahne Sistemi | Çapraz Sahne | 3-eksen Sistem (X, Y, R, Z, T – Manual) |
| X, Y-eksen : 40mm / R-ekseni : 360° | ||
| * Görüntü Kayması : ±150μm , Bölmeye Takılı CCD Kamera | ||
| * T-ekseni : 0~45° (Option) | ||
| Max Örnek Ölçüsü | 70mm çap x 30mm yükseklik | |
| Görüntüleme Sistemi | Otomasyon Fonksiyonu | Otomatik Başlatma, Otomatik Odaklama, |
| Otomatik Astigmat Düzeltme, otomatik kontrast & Otomatik Parlaklık | ||
| Görüntü Biçimi | BMP, JPEG, PNG, TIFF | |
| Vakum Sistemi | Vakum Modu | Yüksek ve Düşük Vakum |
| Vakum Pompası | Döner Pompa / Turbo Moleküler Pompa (Tam Otomatik) | |
| Ölçüler | Ana Ünite | 390(W)x380(D)x560(H)mm, 83kg |
| Kontrol Ünitesi | 390(W)x325(D)x560(H)mm, 37kg | |
| Döner Pompa | 400(W)x160(D)x340(H)mm, 24kg |
