sec3200m

SEC SNE-3200M Taramalı Elektron Mikroskobu

SE ve BSE detektörleri ile kapsamlı malzeme analizleri. Yüksek ve düşük vakum sistemi bir arada. İletken olmayan örnekleri metal kaplama yapamadan inceleyebilme. 15nm detay. 60.000x büyütme. EDS opsiyonu ile element analizi.
 

15nm

Çözünürlük

60.000x

Büyütme

SE / BSE

Çoklu Dedektör

sec3200mse

SE (İkincil Elektron)

Genel etkiyi oluşturmak için yüzey morfolojisini gözlemleme tekniğine uygulanan yöntemdir. Örnek yüzey morfolojisi bilgisine dayalı görüntü oluşumunu sağlar. Yüzeyden koparılan elektronun dedektörde oluşturduğu izi gösteren görüntüleme yöntemidir.

sec3200mbse

BSE (Geri Saçılma Elektonu)

Görüntüleme yapılacak yüzeye gönderilen elektronun incelenecek yüzeye çarpıp geri sekmesine dayalı görüntüleme yöntemidir. Bu yöntem incelenecek örneğin atom numarasına dayalı bir görüntü oluşturur.
 

Görüntü Sistemi

X,Y,R (3-Eksenli)

Otomatik Ayar

Odak - Kontrast - Parlaklık

Çift Görüntüleme

SE/BSE Çoklu Görüntü

sec3200mv
Elektron SistemiÇözünürlük15nm (30kV, SE Görüntü)
Büyütme15nm (30kV, SE Görüntü) , 20nm (30kV, BSE Görüntü)
Hızlandırıcı Gerilimi1~30kV (1/5/10/15/20/30)
DetektörSecondary Electron Image(SE) , Backscattered Electron Image(BSE)
Elektron TabancasıÖn-merkezlemeli Tungsten Filament Kartuş
Sahne SistemiÇapraz Sahne3-eksen Sistem (X, Y, R, Z, T – Manual)
X, Y-eksen : 40mm / R-ekseni : 360°
* Görüntü Kayması : ±150μm , Bölmeye Takılı CCD Kamera
* T-ekseni : 0~45° (Option)
Max Örnek Ölçüsü70mm çap x 30mm yükseklik
Görüntüleme SistemiOtomasyon FonksiyonuOtomatik Başlatma, Otomatik Odaklama,
Otomatik Astigmat Düzeltme, otomatik kontrast & Otomatik Parlaklık
Görüntü BiçimiBMP, JPEG, PNG, TIFF
Vakum SistemiVakum ModuYüksek ve Düşük Vakum
Vakum PompasıDöner Pompa / Turbo Moleküler Pompa (Tam Otomatik)
ÖlçülerAna Ünite390(W)x380(D)x560(H)mm, 83kg
Kontrol Ünitesi390(W)x325(D)x560(H)mm, 37kg
Döner Pompa400(W)x160(D)x340(H)mm, 24kg